成果信息

图形化蓝宝石衬底技术（Patterned Sapphire Substrate，简称PSS）可有效减少传统生产中氮化镓外延层的外延缺陷，使外延层晶体质量明显提高，有效提高氮化镓基LED的光功率。 中科院微电子所针对国内外LED生产领域的实际需求，研制出了拥有自主知识产权的电感耦合高密度等离子体刻蚀系统。该设备采用完全自主知识产权，打破了国外设备巨头对LED工艺关键设备的技术垄断，对推动国内蓬勃发展的LED产业具有重大意义。)

背景介绍

基于氮化镓材料的高亮度LED(HB-LED)是未来普通照明光源最为重要的技术，它的应用领域包括照明、手机、显示、汽车、信号灯以及其他许多领域。到2012年，预计总的高亮度 LED 市场将轻松超过20亿美元。 )

应用前景

该项目正式商业化生产后，将打破国外设备厂商对高端LED设备的技术垄断，服务国内企业以较低成本获得国际尖端设备，有效降低设备购置成本，参与国际化竞争。 项目组计划募集资金，用于支撑新开发设备的后期技术改进和测试，团队建设以及为产业化生产提供基础设施保障。同时，希望能引进市场机构，特别是有实力的LED芯片生产企业，以吸收投资为契机，引进先进的管理体系，推动该项目的市场化运营。)