成果信息

数字全息干涉仪是在本实验室长期从事数字全息术研究的基础上，开发出来的可脱离实验室应用的干涉测量仪器。根据被测物场的尺寸，分为缩微和显微数字全息干涉仪。缩微数字全息干涉仪主要应用于大口径物场的透射式测量，可实现对气（液）流场、扩散过程等的现场可视化表征；显微数字全息干涉仪主要应用于生物组织、微系统和微加工过程等的检验检测，其轴向测量精度可达纳米量级，实现样品的动态、全场、实时、非接触、三维测量，获得样品的三维信息。)

背景介绍

/)

应用前景

/)